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[国内动态] 长春光机所首次承担国家重大科研仪器设备研制专项
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[最新进展] 上海光机所高端光刻机成像质量原位检测技术研究取得重要研究成果
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[最新进展] 上海市科委基础研究重点项目“光刻成像焦深延拓与像质原位检测的理论和实验研究”通过验收
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